Mikrobearbeiteter Volumenwellenresonatordrucksensor
EP3420332
Art A1
2. Januar 2019
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3420332
- Aktenzeichen
- EP17728987
- Anmeldetag
- 30. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 2. Januar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
MKS Instruments
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
425 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Brown, Alexander Edward
London, Großbritannien
422
Patente gesamt
33
Fachgebiete
18
Anmelder-Länder
Schwerpunkte