Verfahren zur Bestimmung der Oberflächeneigenschaften von Targets

EP3420345 Art B1 21. Juni 2023

Anmelder: Forschungszentrum Jülich GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3420345
Aktenzeichen: EP17707158
Anmeldetag: 25. Januar 2017
Veröffentlichung: 21. Juni 2023
Erteilung: 21. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/71G01N21/73G01J3/443H01J37/32

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Forschungszentrum Jülich GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Forschungszentrum Jülich

Deutsche Großforschungseinrichtung der Helmholtz-Gemeinschaft mit Sitz in Jülich, gegründet 1956. Forschungsschwerpunkte sind Energie, Information und Gehirnforschung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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