Kalibrierung Kleiner Elementarmotive in der Elektronenstrahllithografie mit Geformtem Strahl
EP3422387
Art B1
27. November 2019
Anmelder: Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives 🇫🇷
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3422387
- Aktenzeichen
- EP18178560
- Anmeldetag
- 19. Juni 2018
- Veröffentlichung
- 27. November 2019
- Erteilung
- 27. November 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/317
Abstract
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Anmelder
- Firma
- Commissariat à l'Energie Atomique et aux Energies Alternatives
- Land
- 🇫🇷 Frankreich
🇫🇷
CEA (Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives)
Französisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Paris (Verwaltung) und Standorten wie Grenoble und Saclay. Forscht in Kernenergie, erneuerbaren Energien, Mikroelektronik, Werkstoffwissenschaften, Verteidigungstechnik und Informationstechnologien.
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Fachgebiete
Kanzlei
Marks & Clerk France
Arcueil, Frankreich
Der Standort in Arcueil bei Paris firmierte als Marks & Clerk France, 2005 gegründet, Schwerpunkt europäische Patente in Elektronik, Informatik und Telekommunikation. 2022 von der Vidon-Gruppe übernommen und als Atout[PI] Laplace weitergeführt, einer der größten französischen IP-Beratungsverbünde.
3.434
Patente gesamt
8
Patentanwälte
1
Standorte
Weitere Vertreter
-
Atout PI Laplace
Atout PI Laplace · Paris