Mems-Vorrichtung mit einer Freigesetzten Vorrichtungsschicht als Membran
EP3423800
Art B1
22. Januar 2020
Anmelder: ETH Zurich 🇨🇭
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3423800
- Aktenzeichen
- EP17706518
- Anmeldetag
- 27. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 22. Januar 2020
- Erteilung
- 22. Januar 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01L9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ETH Zurich
- Land
- 🇨🇭 Schweiz
🇨🇭
ETH Zürich
Eidgenössische Technische Hochschule Zürich, Schweizer Hochschule mit Forschungsschwerpunkten in Natur-, Ingenieur- und Materialwissenschaften.
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