Polierzusammensetzung und Polierverfahren dafür

EP3425016 Art B1 27. Januar 2021

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3425016
Aktenzeichen: EP17759589
Anmeldetag: 8. Februar 2017
Veröffentlichung: 27. Januar 2021
Erteilung: 27. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: C09K3/14H01L21/306B24B37/04H01L21/304C09G1/02B24B37/00H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Fujimi Incorporated
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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