Antriebsvorrichtung, Lithografievorrichtung, Kühlverfahren und Verfahren zur Herstellung des Artikels
EP3425452
Art A1
9. Januar 2019
Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3425452
- Aktenzeichen
- EP17759709
- Anmeldetag
- 20. Februar 2017
- Veröffentlichung
- 9. Januar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68H02K9/19
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Canon Kabushiki Kaisha
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Canon
Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.
19.221 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Garner, Jonathan Charles Stapleton
London, Großbritannien
343
Patente gesamt
16
Fachgebiete
4
Anmelder-Länder
Schwerpunkte
Weitere Vertreter
-
Canon Europe Limited
Canon Europe Limited · Uxbridge