Korrektur von Hergestellten Formen in der Generativen Fertigung

EP3427288 Art B1 28. April 2021

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3427288
Aktenzeichen
EP17764154
Anmeldetag
9. März 2017
Veröffentlichung
28. April 2021
Erteilung
28. April 2021
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/306H01L21/304H01L21/321B24D18/00B29C64/165G01B11/24B29C64/112B29C64/393B24B37/20B24B37/26
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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