Inspektionswerkzeug, Lithographische Vorrichtung, Lithographisches System, Inspektionsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren
EP3428725
Art A1
16. Januar 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3428725
- Aktenzeichen
- EP17181207
- Anmeldetag
- 13. Juli 2017
- Veröffentlichung
- 16. Januar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F9/00G01N23/225G01R31/305
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte