Verfahren zur Herstellung einer Siliciumnitridschicht sowie Siliciumnitridschicht

EP3428959 Art B1 1. März 2023

Anmelder: Taiyo Nippon Sanso Corporation, SPP Technologies Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3428959
Aktenzeichen: EP16893529
Anmeldetag: 11. März 2016
Veröffentlichung: 1. März 2023
Erteilung: 1. März 2023
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/318C23C16/34H01L21/31C23C16/505C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Taiyo Nippon Sanso Corporation
SPP Technologies Co., Ltd.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Taiyo Nippon Sanso

Taiyo Nippon Sanso ist ein japanischer Hersteller von Industriegasen und zugehörigen Anlagen, Teil der Mitsubishi-Chemical-Gruppe. Der Patentbestand konzentriert sich auf Verfahrens- und Trenntechnik sowie Wärme-, Fertigungs- und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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