Optischer Rauheitssensor für eine Koordinatenmessmaschine

Details

Veröffentlichungs-Nr.

EP3435032

Aktenzeichen

EP17183279

Anmeldetag

26. Juli 2017

Veröffentlichung

11. November 2020

Erteilung

11. November 2020

Rechtsraum

EP

IPC

G01B11/30G01B11/00

Abstract

Optischer Rauheitssensor (10) für eine Koordinatenmessmaschine, mit einer Strahlkopplungseinheit (11) zur Ein- und Auskopplung von optischer Nutzstrahlung, einem lokalen Referenzoszillatorelement zur Bereitstellung eines Referenzpfads und eines interferometrischen Referenzsignals mittels eines Referenzstrahlungsanteils der Nutzstrahlung, einem ersten Auskoppelpfad mit einem ersten Strahldurchtrittsfenster zur derartigen bidirektionalen Transmission eines Messstrahlungsanteils (17) der Nutzstrahlung, dass der Messstrahlungsanteil (17) auf eine zu vermessende Objektoberfläche ausrichtbar und eine Reflexion des Messstrahlungsanteils (17) erfassbar ist und durch den reflektierten Messstrahlungsanteil (17) ein Oberflächensignal bezüglich der Objektoberfläche bereitstellbar ist. Der Referenzpfad und der Auskoppelpfad (12) sind derart angeordnet und wirken derart zusammen, dass das Referenzsignal und das Oberflächensignal interferieren und basierend auf der Interferenz von Referenzsignal und Oberflächensignal ein Rauheitssignal ableitbar ist.

Anmelder

Firma

Hexagon Technology Center GmbH

Land

🇨🇭 Schweiz

Fachgebiete