Elektrische Schaltung zur Emulation Variabler Elektrischer Eigenschaften

EP3435542 Art A1 30. Januar 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3435542
Aktenzeichen
EP17183228
Anmeldetag
26. Juli 2017
Veröffentlichung
30. Januar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H03H11/46H03H11/48
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML Netherlands B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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