Zusammensetzung für Hydrierte Isotopisch Angereicherte Bortrifluoriddotierungsgasquellen

EP3436404 Art B1 26. August 2020

Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3436404
Aktenzeichen
EP17721225
Anmeldetag
27. März 2017
Veröffentlichung
26. August 2020
Erteilung
26. August 2020
Rechtsraum
EP
IPC
C01B35/06H01J37/08H01J37/317
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Entegris, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

899 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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