Verfahren zum Ätzen einer Metalloberfläche

EP3436622 Art B1 20. März 2024

Anmelder: Wayne State University 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3436622
Aktenzeichen: EP17776739
Anmeldetag: 31. März 2017
Veröffentlichung: 20. März 2024
Erteilung: 20. März 2024
Rechtsraum: EP
IPC: C23F1/12C23F1/00H01L21/3213

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Wayne State University
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Wayne State University

Die Wayne State University ist eine staatliche Universität in Detroit, Michigan, mit breiter medizinischer und naturwissenschaftlicher Forschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Medizintechnik und organische Chemie, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Pharma und Biotechnologie. Anmeldungen erfolgen kontinuierlich seit 2000.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von