Ausgerichtete Rastergeviertelte Strukturierung zur Fortschrittlichen Korrektur von Lithographiekantenplatzierungsfehlern

EP3437120 Art B1 18. November 2020

Anmelder: INTEL Corporation 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3437120
Aktenzeichen: EP16897275
Anmeldetag: 28. März 2016
Veröffentlichung: 18. November 2020
Erteilung: 18. November 2020
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/027H01L21/336

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: INTEL Corporation
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Intel

US-amerikanischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Kalifornien. Entwickelt und produziert Prozessoren, Chipsätze sowie weitere Halbleiterkomponenten für Computer, Server und eingebettete Systeme.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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