Laser-Seeding für Elektroleitfähige Plattierung

EP3437127 Art A1 6. Februar 2019

Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3437127
Aktenzeichen
EP17776782
Anmeldetag
31. März 2017
Veröffentlichung
6. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L23/15H01L21/268H01L23/14H05K3/04H01L21/48H01L23/498H05K3/18
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Electro Scientific Industries, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Electro Scientific Industries

Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.

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