Laser-Seeding für Elektroleitfähige Plattierung
EP3437127
Art A1
6. Februar 2019
Anmelder: Electro Scientific Industries, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3437127
- Aktenzeichen
- EP17776782
- Anmeldetag
- 31. März 2017
- Veröffentlichung
- 6. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01L23/15H01L21/268H01L23/14H05K3/04H01L21/48H01L23/498H05K3/18
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Electro Scientific Industries, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Electro Scientific Industries
Electro Scientific Industries ist ein US-amerikanischer Hersteller von Lasersystemen für die Halbleiter- und Elektronikfertigung und gehört zur MKS-Instruments-Gruppe. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Werkzeug- und Fertigungstechnik sowie Halbleiterbauelemente, ergänzt durch Mess- und Optiktechnik. Anmeldungen laufen von 2000 bis 2024.
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