Polierkissen und Polierverfahren

EP3437798 Art A1 6. Februar 2019

Anmelder: Fujimi Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3437798
Aktenzeichen
EP17773604
Anmeldetag
27. Januar 2017
Veröffentlichung
6. Februar 2019
Rechtsraum
EP
IPC
B24B37/24B24B37/22B24D11/00H01L21/304B24B37/26A47L13/16B24B29/00B24D11/02
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Fujimi Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Fujimi

Fujimi ist ein japanischer Hersteller von Poliermitteln, vor allem für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Farben und Klebstoffe sowie Halbleiterbauelemente und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind seit 2000 dokumentiert.

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