Oberflächenformmessvorrichtung und Oberflächenformmessverfahren

EP3438599 Art B1 22. Januar 2020

Anmelder: Tokyo Seimitsu Co., Ltd. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3438599
Aktenzeichen
EP17774660
Anmeldetag
23. März 2017
Veröffentlichung
22. Januar 2020
Erteilung
22. Januar 2020
Rechtsraum
EP
IPC
G01B5/20G01G19/52
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Tokyo Seimitsu Co., Ltd.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Tokyo Seimitsu

Tokyo Seimitsu ist ein japanischer Hersteller von Mess- und Fertigungsgeräten für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiterbauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Werkzeug- und Fertigungstechnik. Die Titel betreffen vor allem Bearbeitungsverfahren und -vorrichtungen für die Wafer- und Chipherstellung.

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