Verfahren zur Behandlung eines Reflektiven Optischen Elements für den Euv-Wellenlängenbereich, Verfahren zu dessen Herstellung und Behandlungsvorrichtung

EP3438744 Art B1 15. Juni 2022

Anmelder: Carl Zeiss SMT GmbH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3438744
Aktenzeichen: EP18183568
Anmeldetag: 13. Juli 2018
Veröffentlichung: 15. Juni 2022
Erteilung: 15. Juni 2022
Rechtsraum: EP
IPC: G03F1/24G03F1/52G02B5/08G02B1/12G21K1/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Carl Zeiss SMT GmbH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Optik & Fototechnik

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