Musterzeichenvorrichtung, Musterzeichenverfahren und Verfahren zur Herstellung der Vorrichtung

EP3438751 Art A1 6. Februar 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3438751
Aktenzeichen: EP17775051
Anmeldetag: 28. März 2017
Veröffentlichung: 6. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G02B26/10H05K3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Optik & Fototechnik

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