Substrattransfervorrichtung, Substrattransferverfahren und Belichtungsvorrichtung

EP3439018 Art A1 6. Februar 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3439018
Aktenzeichen: EP18179277
Anmeldetag: 21. Oktober 2005
Veröffentlichung: 6. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/00G03F7/20G03F1/66B82Y10/00B82Y40/00G03F1/24G03F1/48G03F1/62H01L21/67H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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