Merkmalsextraktionselement, Merkmalsextraktionssystem und Bestimmungsvorrichtung

EP3439288 Art B1 10. April 2024

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3439288
Aktenzeichen
EP16896883
Anmeldetag
30. März 2016
Veröffentlichung
10. April 2024
Erteilung
10. April 2024
Rechtsraum
EP
IPC
G06N3/045G06N3/048G06N3/065H04N25/70H04N25/77H04N25/772H04N25/79H01L27/146
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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