Verfahren und Vorrichtung zur Bestimmung der Position eines Strahlungspunktes sowie Inspektionsvorrichtung
EP3441820
Art A1
13. Februar 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3441820
- Aktenzeichen
- EP17185893
- Anmeldetag
- 11. August 2017
- Veröffentlichung
- 13. Februar 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/47G01N21/956H05G2/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Willekens, Jeroen Pieter Frank
Eindhoven, Niederlande
49
Patente gesamt
11
Fachgebiete
2
Anmelder-Länder
Schwerpunkte