Kaltkathodenionisierungsunterdruckmessvorrichtung mit mehreren Kathoden
Anmelder: MKS Instruments, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3443579
- Aktenzeichen
- EP17722329
- Anmeldetag
- 27. April 2017
- Veröffentlichung
- 17. März 2021
- Erteilung
- 17. März 2021
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J41/06G01L21/34
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- MKS Instruments, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
MKS Instruments ist ein US-amerikanischer Hersteller von Prozesssteuerungs- und Messinstrumenten für die Halbleiterfertigung mit Sitz in Massachusetts. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt um Steuerungstechnik. Anmeldungen decken den Zeitraum 2000 bis 2025 ab.
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Page White & Farrer wurde bereits 1977 als Londoner Kanzlei europäischer Patentanwälte eingetragen, mit weiteren Büros in Leeds, Exeter und München. Berät zu Patenten, Marken, Designrechten sowie IP-Strategie und Finanzierungsrunden, Schwerpunkte Künstliche Intelligenz, Life Sciences und Cleantech.
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Whitfield, Ian
NoneLondon