Breitbandstrahlung durch Superkontinuumerzeugung unter Verwendung einer Konischen Optischen Faser

EP3446181 Art A1 27. Februar 2019

Anmelder: ASML Holding N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3446181
Aktenzeichen: EP17712441
Anmeldetag: 17. März 2017
Veröffentlichung: 27. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G02F1/365

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Holding N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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