Verfahren zur Anpassung von Datensätzen, Verfahren zur Planung der Wartung und Vorrichtung

EP3446262 Art A1 27. Februar 2019

Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3446262
Aktenzeichen: EP17714811
Anmeldetag: 4. April 2017
Veröffentlichung: 27. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G06Q10/00G06Q50/04G03F7/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML Netherlands B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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