Zusammensetzungen zur Metall-Chemisch-Mechanischen Planarisierung (cmp) und Verfahren dafür

EP3447100 Art A1 27. Februar 2019

Anmelder: Versum Materials US, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3447100
Aktenzeichen: EP18190860
Anmeldetag: 24. August 2018
Veröffentlichung: 27. Februar 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C09G1/02H01L21/304H01L21/321

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Versum Materials US, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Versum Materials US

Versum Materials US, LLC war ein US-amerikanischer Hersteller von Spezialchemikalien und -gasen für die Halbleiterfertigung, der 2019 von Merck KGaA übernommen wurde. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Oberflächentechnik, ergänzt um Farben, Klebstoffe und organische Chemie. Anmeldungen erfolgten zwischen 2002 und 2025.

393 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Farben, Klebstoffe & Brennstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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