Filterpatronensystem für Luftgetragene Molekulare Verunreinigungen mit Brennbarer Filterpatrone und Wiederverwendbarem Rahmen
EP3448541
Art B1
13. August 2025
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3448541
- Aktenzeichen
- EP17790489
- Anmeldetag
- 28. April 2017
- Veröffentlichung
- 13. August 2025
- Erteilung
- 13. August 2025
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B01D46/00B01D46/52
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar