Vorrichtung im Zusammenhang mit der Analyse einer Dünnschicht und Herstellungsverfahren dafür

EP3449210 Art B1 7. Juni 2023

Anmelder: Chipmetrics Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3449210
Aktenzeichen: EP17725289
Anmeldetag: 25. April 2017
Veröffentlichung: 7. Juni 2023
Erteilung: 7. Juni 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01B21/00C23C14/00C23C16/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Chipmetrics Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy
Land: 🇫🇮 Finnland

🇫🇮 VTT Technical Research Centre of Finland

VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Metallurgie & Oberflächentechnik

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