Verfahren zur Beurteilung der Qualität einer Oxidhalbleiterdünnschicht, Verfahren zur Verwaltung der Qualität einer Oxidhalbleiterdünnschicht und Vorrichtung zur Herstellung eines Halbleiters mit Diesem Verfahren zur Verwaltung der Qualität

EP3451369 Art A1 6. März 2019

Anmelder: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.) 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3451369
Aktenzeichen: EP17789605
Anmeldetag: 26. April 2017
Veröffentlichung: 6. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G01N22/00G01R31/265G01R31/26H01L29/786

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Kabushiki Kaisha Kobe Seiko Sho (Kobe Steel, Ltd.)
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kobe Steel

Japanischer Mischkonzern mit Sitz in Kobe, gegründet 1905. Tätigkeitsfelder umfassen Stahl- und Aluminiumerzeugnisse, Maschinenbau sowie Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von