Mechanisch Entkoppeltes Oberflächenmikromechanisches Element und Verfahren zur Herstellung davon
EP3452406
Art B1
13. Mai 2020
Anmelder: Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy, Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy 🇫🇮
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3452406
- Aktenzeichen
- EP17725290
- Anmeldetag
- 2. Mai 2017
- Veröffentlichung
- 13. Mai 2020
- Erteilung
- 13. Mai 2020
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- B81B7/00
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Teknologian tutkimuskeskus VTT Oy
Teknologian Tutkimuskeskus VTT Oy - Land
- 🇫🇮 Finnland
🇫🇮
VTT Technical Research Centre of Finland
VTT ist eine staatliche finnische Forschungseinrichtung mit Sitz in Espoo, die angewandte Forschung und Entwicklung in Bereichen wie Technik, Energie und Materialwissenschaften betreibt.
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