Verfahren und System zur Detektion von Defekten eines Lithographischen Musters

EP3454128 Art B1 29. Januar 2020

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3454128
Aktenzeichen: EP17190509
Anmeldetag: 12. September 2017
Veröffentlichung: 29. Januar 2020
Erteilung: 29. Januar 2020
Rechtsraum: EP
IPC: G03F7/20G01N21/956G06T7/00G01N21/88

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik Software & Datenverarbeitung

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