Verfahren zur Herstellung einer Vertikalkanalvorrichtung sowie eine Vertikalkanalvorrichtung

EP3454378 Art A1 13. März 2019

Anmelder: IMEC vzw 🇧🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3454378
Aktenzeichen: EP17190060
Anmeldetag: 8. September 2017
Veröffentlichung: 13. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L29/786H01L29/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: IMEC vzw
Land: 🇧🇪 Belgien

🇧🇪 imec

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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