Filmformungsvorrichtung

EP3457432 Art B1 20. Januar 2021

Anmelder: Tokyo Electron Limited 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3457432
Aktenzeichen: EP17796019
Anmeldetag: 28. April 2017
Veröffentlichung: 20. Januar 2021
Erteilung: 20. Januar 2021
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/205C23C16/44C23C16/46C23C16/32C23C16/455C23C16/458C30B25/12C30B29/36C30B25/10

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: Tokyo Electron Limited
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tokyo Electron

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio, einer der weltweit größten Hersteller von Halbleiterfertigungsanlagen. Aktiv in Beschichtungs-, Ätz- und Reinigungssystemen für die Chip- und Displayproduktion.

2.414 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von