Verfahren zur Herstellung eines Gestreckten Halbleiter-Auf-Isolator-Substrats

EP3459107 Art B1 18. Dezember 2019

Anmelder: Soitec 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3459107
Aktenzeichen
EP17729386
Anmeldetag
17. Mai 2017
Veröffentlichung
18. Dezember 2019
Erteilung
18. Dezember 2019
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/762
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Soitec
Land
🇫🇷 Frankreich
🇫🇷 Soitec

Französischer Halbleiterhersteller mit Sitz in Bernin, spezialisiert auf Silicon-on-Insulator (SOI) Substrate. Patente decken Halbleitermaterialien und Waferbondtechnik ab.

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