Beschichtungen zur Verbesserung der Eigenschaften und Leistung von Substratartikeln und Vorrichtung
EP3460093
Art A3
19. Juni 2019
Anmelder: Entegris, Inc. 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3460093
- Aktenzeichen
- EP18192796
- Anmeldetag
- 13. Februar 2016
- Veröffentlichung
- 19. Juni 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- C23C16/04C23C16/56
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Entegris, Inc.
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
Entegris
US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.
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Fachgebiete
Vertreten von
-
Greaves Brewster LLP
Greaves Brewster LLP · Cheddar