Strukturierungsvorrichtung, Verfahren zur Herstellung einer Strukturierungsvorrichtung, System zur Strukturierung eines Retikels und Lithographische Vorrichtung
EP3460572
Art A1
27. März 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3460572
- Aktenzeichen
- EP17193045
- Anmeldetag
- 26. September 2017
- Veröffentlichung
- 27. März 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F1/72G03F1/76G03F1/42G03F9/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
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Schwerpunkte