Halbleiterbauelementherstellungsvorrichtung und Halbleiterbauelementherstellungsverfahren

EP3460836 Art A1 27. März 2019

Anmelder: Kabushiki Kaisha Toshiba, Toshiba Electronic Devices & Storage Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3460836
Aktenzeichen: EP18158335
Anmeldetag: 23. Februar 2018
Veröffentlichung: 27. März 2019
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/78H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: Kabushiki Kaisha Toshiba
Toshiba Electronic Devices & Storage Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Toshiba

Japanischer Konzern, der Elektronik, Halbleiter, Energie- und Infrastrukturtechnik sowie Industrieanlagen entwickelt und herstellt.

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🇯🇵 Toshiba Electronic Devices & Storage

Toshiba Electronic Devices & Storage ist eine Tochtergesellschaft des japanischen Toshiba-Konzerns für Halbleiterbauelemente und Speicherprodukte. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Halbleiter- und elektrische Bauelemente, ergänzt um Mess- und Prüftechnik sowie Software und Telekommunikation. Die Anmeldungen betreffen überwiegend Halbleiterbauelemente und zugehörige Steuerschaltungen.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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