Mehrzonen-Prozesskit für Kontinuierliche Chemische Gasphasenabscheidung (cvd)

EP3464677 Art A1 10. April 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3464677
Aktenzeichen: EP17807580
Anmeldetag: 2. Juni 2017
Veröffentlichung: 10. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: C23C16/54C23C16/455C23C16/46C23C16/44C03C25/104

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Applied Materials, Inc.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Metallurgie & Oberflächentechnik

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