Verfahren zur Herstellung eines Funktionalisierten Führungsmusters für ein Graphoepitaxieverfahren

EP3465739 Art B1 13. April 2022

Anmelder: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3465739
Aktenzeichen: EP17726600
Anmeldetag: 23. Mai 2017
Veröffentlichung: 13. April 2022
Erteilung: 13. April 2022
Rechtsraum: EP
IPC: H01L21/033H01L21/311H01L21/3213G03F7/00B81C1/00H01L21/3115H01L21/3215

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives

Die Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives (CEA) ist eine französische staatliche Forschungseinrichtung mit Schwerpunkt Kernenergie, alternative Energien und Grundlagenforschung. Das Patentportfolio konzentriert sich auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Software, Energietechnik und Werkstoffkunde. Anmeldungen sind seit 2000 durchgehend belegt.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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