Beobachtungsvorrichtung und Beobachtungsverfahren

EP3467480 Art B1 23. August 2023

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3467480
Aktenzeichen: EP17806634
Anmeldetag: 29. Mai 2017
Veröffentlichung: 23. August 2023
Erteilung: 23. August 2023
Rechtsraum: EP
IPC: G01N21/64G01N21/27G01N21/65G02B21/00G01N21/45G01N21/47G02B5/30

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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