Fluidvorrichtung, System, Verfahren zur Detektion einer Probesubstanz und Verfahren zur Reinigung einer Probesubstanz
EP3467515
Art A1
10. April 2019
Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3467515
- Aktenzeichen
- EP17810257
- Anmeldetag
- 5. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 10. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G01N35/08B01J19/00B03C1/00B03C1/28B81B1/00B81B7/02C12M1/00C12N15/09C12Q1/68G01N1/10G01N1/34G01N37/00B01L3/00
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Nikon Corporation
- Land
- 🇯🇵 Japan
🇯🇵
Nikon
Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.
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Vertreten von
-
Hoffmann Eitle
Hoffmann Eitle · München