Fluidvorrichtung, System, Verfahren zur Detektion einer Probesubstanz und Verfahren zur Reinigung einer Probesubstanz

EP3467515 Art A1 10. April 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3467515
Aktenzeichen
EP17810257
Anmeldetag
5. Juni 2017
Veröffentlichung
10. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G01N35/08B01J19/00B03C1/00B03C1/28B81B1/00B81B7/02C12M1/00C12N15/09C12Q1/68G01N1/10G01N1/34G01N37/00B01L3/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Nikon Corporation
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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