Markierungsdetektionsvorrichtung, Markierungsdetektionsverfahren, Messvorrichtung, Belichtungsvorrichtung, Belichtungsverfahren und Vorrichtungsherstellungsverfahren

EP3467591 Art A1 10. April 2019

Anmelder: Nikon Corporation 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: EP3467591
Aktenzeichen: EP17806685
Anmeldetag: 30. Mai 2017
Veröffentlichung: 10. April 2019
Rechtsraum: EP
IPC: G03F9/00G01B11/00G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: Nikon Corporation
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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