Spannfutter, Substrathaltevorrichtung, Strukturbildungsverfahren und Verfahren zur Herstellung eines Artikels

EP3467870 Art B1 27. Juli 2022

Anmelder: Canon Kabushiki Kaisha 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3467870
Aktenzeichen
EP17806606
Anmeldetag
29. Mai 2017
Veröffentlichung
27. Juli 2022
Erteilung
27. Juli 2022
Rechtsraum
EP
IPC
H01L21/683G03F7/20H01L21/687
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
Canon Kabushiki Kaisha
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Canon

Japanischer Konzern mit Sitz in Tokio, der Kameras, Objektive, Drucker, Kopiergeräte sowie optische und medizinische Bildgebungstechnik entwickelt und herstellt.

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