Maskenlose Parallele Bestückungsübertragung von Mikrobauelementen

EP3469424 Art A1 17. April 2019

Anmelder: Applied Materials, Inc. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3469424
Aktenzeichen
EP17811102
Anmeldetag
9. Juni 2017
Veröffentlichung
17. April 2019
Rechtsraum
EP
IPC
G03F7/20H01L21/683H01L21/67// H01L25/075H01L33/20H01L33/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
Applied Materials, Inc.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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