Verfahren und Vorrichtung zur Thermischen Behandlung eines Substrats
EP3469621
Art B1
17. August 2022
Anmelder: Gross, Leander Kilian, Gross, Mascha Elly 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3469621
- Aktenzeichen
- EP17730160
- Anmeldetag
- 14. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 17. August 2022
- Erteilung
- 17. August 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- H01J37/32H01L21/67H05B41/32
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Gross, Leander Kilian
Gross, Mascha Elly - Land
- 🇩🇪 Deutschland