Positionierungsvorrichtung, Magnetisches Trägersystem und Lithographische Vorrichtung
EP3470925
Art A1
17. April 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3470925
- Aktenzeichen
- EP17195886
- Anmeldetag
- 11. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 17. April 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20H01L21/68H01F6/04H02K55/00F17C13/08
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte