Massenspektrometrischer Lecksucher mit Turbomolekularpumpe und Boosterpumpe auf Gemeinsamer Welle
EP3472471
Art B1
23. Februar 2022
Anmelder: Inficon GmbH 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3472471
- Aktenzeichen
- EP17729865
- Anmeldetag
- 13. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 23. Februar 2022
- Erteilung
- 23. Februar 2022
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- F04D19/04G01M3/20F04D29/10
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- Inficon GmbH
- Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Inficon
Inficon ist ein Hersteller von Mess- und Analysegeräten für Vakuum- und Gasanwendungen mit Wurzeln in der Schweiz. Das Patentportfolio konzentriert sich stark auf Mess- und Prüftechnik, ergänzt durch Halbleiter- und Metallurgietechnik. Die Titel betreffen unter anderem Bildverarbeitung für die Prozessendpunkterkennung und Sprühvorrichtungen für Prüfgas.
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