Spülzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung von Resistmustern und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen
EP3472671
Art B1
26. Juni 2024
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3472671
- Aktenzeichen
- EP17730191
- Anmeldetag
- 19. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2024
- Erteilung
- 26. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
Fachgebiete
Kanzlei
Isenbruck Bösl Hörschler PartG mbB
Mannheim, Deutschland
Mannheimer Patentanwaltskanzlei mit fachlich-wissenschaftlichem Team in Chemie, Verfahrenstechnik, Polymeren und Kunststofftechnik, Biotech, Pharma und Life Sciences, Mechanik und Optik sowie Elektrotechnik, Digital und KI.
418
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