Spülzusammensetzung, Verfahren zur Herstellung von Resistmustern und Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen
EP3472671
Art B1
26. Juni 2024
Anmelder: Merck Patent GmbH, AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l. 🇩🇪
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3472671
- Aktenzeichen
- EP17730191
- Anmeldetag
- 19. Juni 2017
- Veröffentlichung
- 26. Juni 2024
- Erteilung
- 26. Juni 2024
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/40
Abstract
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Anmelder
- Firmen
- Merck Patent GmbH
AZ Electronic Materials Luxembourg S.à.r.l. - Land
- 🇩🇪 Deutschland
🇩🇪
Merck KGaA
Deutsches Pharma- und Chemieunternehmen mit Sitz in Darmstadt. Aktiv in Biopharmazeutika, Life-Science-Technologien sowie elektronischen Materialien für Halbleiter- und Displayindustrie. Nicht zu verwechseln mit dem US-Unternehmen Merck & Co.
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