Keimfreie Flüssiggaserzeugungsvorrichtung

EP3476404 Art A1 1. Mai 2019

Anmelder: Ulvac, Inc., Ulvac Cryogenics Incorporated 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
EP3476404
Aktenzeichen
EP17815045
Anmeldetag
11. Mai 2017
Veröffentlichung
1. Mai 2019
Rechtsraum
EP
IPC
A61L2/07F17C5/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen
Ulvac, Inc.
Ulvac Cryogenics Incorporated
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 ULVAC

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Chigasaki, spezialisiert auf Vakuumtechnik sowie Anlagen für die Halbleiter- und Displayfertigung.

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