Inspektionswerkzeug, Lithographische Vorrichtung, Elektronenstrahlquelle und Inspektionsverfahren
EP3477390
Art A1
1. Mai 2019
Anmelder: ASML Netherlands B.V. 🇳🇱
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- EP3477390
- Aktenzeichen
- EP17198202
- Anmeldetag
- 25. Oktober 2017
- Veröffentlichung
- 1. Mai 2019
- Rechtsraum
- EP
- IPC
- G03F7/20G01N21/956H01J1/304H01J37/065
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- ASML Netherlands B.V.
- Land
- 🇳🇱 Niederlande
🇳🇱
ASML
Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.
3.336 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Peters, John Antoine
Veldhoven, Niederlande
167
Patente gesamt
11
Fachgebiete
1
Anmelder-Länder
Schwerpunkte